微观结构的装置或系统，例如，微观机械装置专利技术
001 对微机电装置的某些改进 002 一种射频微电子机械单刀双掷开关及其制造方法 003 将气密盖密封到半导体管芯的方法和装置 004 具有制动组件以控制光学快门和可动元件运动的机电装置 005 在随热启动梁移动的加热器上包括该梁的微电子机械系统 006 反射镜数量减少的
View Article特别适用于制造或处理微观结构的装置或系统的方法或设备专利技术
001 玻璃衬底上可动硅微机械结构集成化的制作方法 002 光电子多芯片组件中多处理单元的布局及划分方法 003 微机电系统器件的真空封装方法 004 微电子机械毫米波压控相移器的制造方法 005 气敏元件及其制造方法 006 SDH指针处理方法及电路 007 制作悬式微结构的方
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